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マスフローコントローラー 5SLM He (1個) 取り寄せ商品 :4589645250446:ナノズヤフー店

マスフローコントローラー 5SLM He (1個) 取り寄せ商品 :4589645250446:ナノズヤフー店

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【熱式流量センサーは外部温度影響を受けにくいです。スタート時のフローサージ現象を抑制します。】検索キーワード: 物理・物性測定器物性・物理量測定機器流量計
商品説明
マスフローコントローラー 5SLM-He (1個)。熱式流量センサーは外部温度影響を受けにくいです。スタート時のフローサージ現象を抑制します。フルスケール流量：5SLM-Heガス種類：He流量精度：±2％FS（精度保証範囲15〜35℃）応答性：6sec流量制御範囲：5〜100％FS入出力：アナログ信号（0〜5VDC）バルブ形式：N/Oノーマルオープン再現性：±0.2％FS動作圧力範囲：50〜300kPa耐圧：1MPa（G）外部リークレート：1×10^-7Pa・m3/sec（He）以下接ガス部材質：SUS316、PTFE、フッ素ゴム接続：1/4in.SWL相当電源：＋15VDC±5％　60mA、−15VDC±5％　150mA通信方式：アナログ0〜5VDC（D-Sub9Pinコネクタ）サイズ：127×25.5×100mm。
メーカー型番:C1005
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